フィールドエミッション形電子プローブマイクロアナライザ
(EPMA)

Electron Probe Micro Analyzer

フィールドエミッション形電子プローブマイクロアナライザ

機器名称 フィールドエミッション形電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)
Electron Probe Micro Analyzer
メーカー/型式

日本電子株式会社/JXA-8530F

設置場所

東大阪キャンパス 38号館N118

仕様説明 細く絞った電界放出型(FE)電子ビームを試料の微小領域に照射し、そこから発生するX線などを検出することによって、数μm以上の極小部を元素分析することができる装置です。金属分野をはじめとして、主に無機分野で利用されており、試料中元素の定性・定量分析はもとより、試料表面の元素分布状態についての情報を得ることが可能です。

Focused field emission electron beam is illuminated to micron area and detecting x-ray signal from the area, we can analyze elements in a few micron meter scale area. It is used for mainly inorganic material fields, especially metal material fields. We can acquire information about not only qualitative analysis & quantitative analysis but also element distribution on top surface of samples.

フィールドエミッション形電子プローブマイクロアナライザ

WDSとEDSの組み合わせで効率的なデータ収集が可能。
・広領域のステージスキャンマップにも対応。
・EDSはアクティブマップ(全スペクトル同時取り込み)利用可能。
・WDSでの分析前にEDSでスクリーニング分析することが有効
試料:玄武岩 上段:WDS 下段:EDS
反射電子組成像とEDS/WDSコンバインカラーマップ


Combining WDS and EDS, effective data acquisition is available.
-Wide area stage scan mapping is applicable.
-In EDS, Active map (all spectrum simultaneous acquisition) is applicable.
-Screening analysis by EDS is effective before WDS analysis.

BEI, EDS & WDS combine color mapping data
Sample: basalt upper: WDS lower: EDS

フィールドエミッション形電子プローブマイクロアナライザ

WDSとEDSの組み合わせで効率的なデータ収集が可能。
・広領域のステージスキャンマップにも対応。
・EDSはアクティブマップ(全スペクトル同時取り込み)利用可能。
試料:玄武岩 上段:WDS 下段:EDS
反射電子組成像とEDS/WDSコンバインカラーマップ

近畿大学共同利用センターに関するお問い合わせは、以下のメールアドレスにお気軽にお問い合わせください。
各分室でのご利用方法などの質問もお受けいたします。

近畿大学共同利用センター事務室

jrcadm@jrc.kindai.ac.jp