教員・研究員紹介
- 藤田 隆 （ふじた たかし）
- 准教授 博士(工学)
- 所属学科/機械工学科 所属専攻/メカニックス系工学専攻
- 研究キーワード：
- 半導体／精密加工／生産技術
医化学機器や半導体・電子部品に使用される幅広い素材に対する極細溝加工、カッティング加工及び化学機械研磨技術の研究を行っています。自然の摂理を巧みに利用した実用的な加工及び測定技術を構築していきます。
開発したPCDブレード, CMP用ファイバーコンディショナー
| 専門 | 微細加工技術、精密測定工学、半導体製造プロセス |
|---|---|
| 担当科目（学部） | 精密加工学、機械工作法、図学および機械製図、基礎ゼミ１、機械加工実習１、卒研ゼミナール、金属加工実習、技術と倫理 |
| 担当科目（大学院） | 先端加工システム工学特論 メカニックス系学際講義Ⅳ |
| 主な研究テーマ | ・マイクログルービング技術の研究 ・PCDブレード放電ドレッシング技術の研究 ・フレキシブルファイバーによるパッドコンディショニング技術の研究 ・表皮効果を利用した渦電流による終点検出技術の研究 ・パッド表面解析による研磨メカニズムの研究 |
| 代表的な研究業績 |
・ Ultra-fine Grooving of Cemented Carbide with High Aspect Ratio by PCD Blade, T. Fujita, Y. Izumi, J. Watanabe, Precision Engineering 55 (2019), 381-389 ・ Verification of Operation Principle on End Point Detection by Skin Effect in Chemical Mechanical Planarization, Takashi Fujita and Keita Kitade, ECS Journal of Solid State Science and Technology , 4 (11) P5008-5015 (2017) ・ Pressure Distribution Control on Surface Conformable Polishing in Chemical Mechanical Planarization, Takashi Fujita and Junji Watanabe, ECS Journal of Solid State Science and Technology ,4 (11) P5008-5015 (2015) |
| 研究内容・研究成果 | |
| researchmap | https://researchmap.jp/kikai-t.fujita |
| 所属学協会 | 日本機械学会 精密工学会 砥粒加工学会 日本工学教育協会 日本設計工学会 |
| 学外活動 | 精密工学会校閲委員 精密工学会関西支部商議員 日本機械学会学生会副顧問 砥粒加工学会関西地区部会運営委員 |
| 出身大学 | 大阪大学 |
| 出身大学院 | 熊本大学 |
| 論文名、取得大学、取得年月 | 半導体素子の多層配線形成における平坦化研磨技術に関する研究，熊本大学，2004年3月 |
| 主な経歴 | 住友金属工業(現 日本製鉄)(株) (株)東京精密 |
| 受賞歴 | 砥粒加工学会論文賞 砥粒加工学会熊谷賞 発明協会発明奨励賞 精密工学会沼田記念論文賞 工作機械技術振興賞論文賞 工作機械技術振興賞奨励賞 |
| 学生へのアドバイス | 時代や世の中の流れを見極めながら、自らの工学の道を切り開いて下さい。 |
| 学生に薦めたい書物 | この社会で戦う君に「知の世界地図」をあげよう 池上彰教授の東工大講義 (文藝春秋社) |
| 趣味・その他 | トレッキング、ランニング |
先端加工システム工学研究室
| 教員室 | 38号館 N602 |
|---|---|
| 内線 | 5328 |
| メールアドレス | fujita（at）mech.kindai.ac.jp
|
| 研究室URL |
https://www.mec.kindai.ac.jp/laboratory/fujita/index.html |